MicroProf® MHU

Метрологический инструмент FRT MicroProf® MHU с блоком перемещения материалов (полностью автоматизированное перемещение, ручная установка кассет) специально разработан для полупроводниковой, MEMS, сапфировой и светодиодной промышленности. Типичными областями применения являются измерения необработанных и покрытых, а также структурированных пластин на различных этапах литографического процесса. Благодаря роботизированному манипулятору с двумя вакуумными концевыми эффекторами инструмент обеспечивает очень высокую производительность - до 220 пластин в час. Он способен обрабатывать пластины размером от 2 до 8 дюймов. Можно обрабатывать до 4 открытых кассет, и, дополнительно, есть возможность интегрировать устройство предварительного выравнивания распознавания текста.

Опция двустороннего измерения образца позволяет проводить одновременное измерение верхней и нижней поверхности с определением толщины образца, общего изменения толщины (TTV) и различных параметров поверхности, таких как шероховатость, волнистость и плоскостность обеих сторон. Также возможно полное измерение формы пластин с анализом глобальных и локальных параметров пластин. Доступна функция сортировки пластин, которая настраивается в соответствии с требованиями заказчика. На основе технологии SurfaceSens дополнительные датчики могут быть установлены позже. Дальнейшим применением MicroProf MHU является определение толщины слоя тонких пленок, а также штабелей слоев, измерение высоты ступеней, неровностей, отверстий (TSV), канавок и т.д.

Благодаря полностью совместимой конструкции, надежным аппаратным компонентам и высокой производительности FRT MicroProf MHU является идеальным метрологическим решением для производственного использования.

Технические характеристики

• Погрузочно-разгрузочная установка с двухрычажным вакуумным захватом
• Дополнительная обработка кромок и / или бесконтактная обработка
• Различные размеры пластин (от 2 до 8 дюймов) в одном инструменте
• Дополнительный считыватель распознавания текста и устройство предварительного выравнивания
• Максимальная гибкость благодаря настройке с несколькими датчиками
• Одновременное измерение с обеих сторон пластины (TTV)
• Полностью автоматизированная работа с рецептурой с помощью программного обеспечения FRT Acquire Automation XT
• Дополнительный интерфейс SECS / GEM
• Функция сортировки образцов, настраиваемая в соответствии с требованиями заказчика
• Дополнительные фильтровентиляторы, обеспечивающие чистоту помещения по стандарту ISO 4