Окислительно-диффузионные печи

Окисление — это процесс, при котором кремниевые пластины помещаются в атмосферу окислителей, таких как кислород или водяной пар, для высокотемпературной термообработки, и на поверхности кремниевой пластины происходит химическая реакция с образованием оксидной пленки. наиболее широко используемые базовые процессы в технологии интегральных схем. Оксидная пленка имеет широкий спектр применения и может использоваться в качестве барьерного слоя для ионной имплантации и слоя проникновения имплантата (буферный слой повреждения), пассивации поверхности, материала изолирующего затвора, защитного слоя устройства, изоляционного слоя, диэлектрического слоя устройства. структура и т.д. Диффузия заключается в использовании принципа термодиффузии в условиях высоких температур для включения примесных элементов в кремниевую подложку в соответствии с технологическими требованиями, чтобы они имели определенное распределение концентрации, чтобы изменить электрические свойства материала и сформировать полупроводниковое устройство. состав. В процессе изготовления кремниевых интегральных схем процесс диффузии используется для изготовления PN-переходов или компонентов, таких как резисторы, конденсаторы, межсоединения, диоды и транзисторы в интегральных схемах.   

Отжиг также называют термическим отжигом. Все процессы термообработки в инертных газах, таких как азот, в процессе интегральных схем можно назвать отжигом. Его основной функцией является устранение дефектов решетки и устранение повреждения решетки кремния. Кроме того, чтобы сформировать хорошую основу на поверхности кремниевой пластины, стабилизировать кристаллическую структуру медной проводки и удалить примеси, тем самым повысив надежность проводки, обычно необходимо поместить кремниевую пластину в инертную среду. газовая среда, такая как аргон, для низкотемпературной термообработки, этот процесс называется легированием.   

Вышеуказанные процессы широко используются в полупроводниковых интегральных схемах, современной упаковке, силовой электронике (IGBT), микроэлектромеханике (MEMS), производстве фотоэлектрических элементов (фотоэлектрических) и других областях применения. Вертикальные печи и горизонтальное печное оборудование компании Northern Huachuang достигли передового уровня. отечественное полупроводниковое оборудование, его технические показатели и технологические характеристики превосходны, и мы стремимся предоставлять клиентам перспективные и передовые технологии и решения.