Газовые баллоны SDS3
для установок ионной имплантации
BF3, PH3, AsH3, GeF4
2,5 литра – 4 700 000 рублей (без газа)
BF3, PH3, AsH3, GeF4
2,5 литра – 4 700 000 рублей (без газа)

Оборудование для лазерного отжига серии SMEE SLD300
Лазерная система отжига для SiC-устройств SLD300
от 79 000 000 рублей
от 79 000 000 рублей

Литографический степпер серии SMEE SSB 300
от 600 000 000 рублей

Установка ионной имплантации SiC
от 300 000 000 рублей

Установка разварки кристаллов на подложках и корпусах золотой и медной проволокой ASM Eagle AERO
19 000 000 рублей

Установка разварки толстой алюминиевой проволокой ASM Hercules
55 000 000 рублей

Автоматическая установка монтажа кристаллов методом эвтектической пайки ASM AD832U
65 000 000 рублей

Установка осаждения MR SEMI 6000 CCP(D)
от 300 000 000 рублей

Автоматическая установка сухого травления кремния MRSEMI-6000 ICP
от 300 000 000 рублей

Растровый электронный микроскоп JOEL JSM-6490LV (Б/У)
18 000 000 рублей

Установка безмаскового совмещения и экспонирования HEIDELBERG MLA-150 (Б/У)
194 000 000 рублей

Спектральный эллипсометр EOPTICS SEI-MAPPING
24 000 000 рублей

Установка для нанесения PVD покрытий HUASHENG HA500
165 000 000 рублей

Установка вакуумной пайки TORCH RS220
9 000 000 рублей

Установка резки пластин ADT 7122
42 000 000 рублей

Установка плазменной очистки CREATING NANO CNT-PC04
21 000 000 рублей
