MicroProf® PT

FRT MicroProf® PT - это полностью автоматизированный инструмент для применения в гибридной метрологии для панелей всех распространенных размеров. Система управления панелями с 2 загрузчиками панелей и установкой нескольких датчиков (включая датчики топографических точек, поляризационные датчики и датчики толщины пленки) идеально подходит для метрологии и контроля, как при разработке, так и при производстве (от лаборатории до фабрики).

Что касается основного метрологического компонента, то новый MicroProf PT используется в усовершенствованной упаковке на уровне панелей, обеспечивая промышленную пригодность для массового производства, а также предельную миниатюризацию и растущие системные требования при снижении производственных затрат.

MicroProf PT оснащен технологией SurfaceSens, обеспечивающей широкий спектр метрологических и контрольных приложений и принципов измерений, выполняемых различными типами оптических датчиков, таких как высокоточное измерение формы выступов и TSV, толщины и шероховатости слоя и других 2D и 3D параметров.

Технические характеристики

• Полная автоматизация с двумя загрузчиками для сборки панелей
• Возможность обработки панелей размером до 600 x 600 мм
• Мультисенсорная технология SurfaceSense, включающая датчики топографических точек, FoV и толщины пленки
• Автоматизация измерений и гибридная оценка программного обеспечения для оценки очень сложных конструкций с помощью программного обеспечения FRT Acquire Automation XT на основе модульных рецептур
• Приложения для метрологии и контроля гибко объединены в одной полностью автоматизированной платформе для разработки и производства (от фабрики до лаборатории)
• Широкий диапазон возможностей обработки панелей различной толщины – от нескольких мм до 200 мкм
• Поддержка всех материалов подложки, включая стекло
• Полная интеграция производственного цеха с протоколами интерфейса SEC / GEM