MicroProf® FS

FRT MicroProf® FS - это полностью автоматизированный инструмент для метрологии пластин, настраиваемый для широкого спектра применений в литейном производстве пластин с использованием как стандартных, так и индивидуальных решений.

Гибкость и универсальность - ключевые характеристики в области метрологии для современных кремниевых литейных производств. MicroProf FS обеспечивает модульный подход к созданию полностью автоматизированного инструмента с несколькими датчиками, который может решать все необходимые измерительные задачи.

Что касается основного метрологического компонента, то проверенный мультисенсорный метрологический инструмент FRT MicroProf 300 используется для измерения различных продуктов и - благодаря гибридной концепции метрологии – повышает точность измерений на образцах, где одного датчика или принципа измерения недостаточно. Измерительная система MicroProf FS оснащена основанием из гранита, трехточечным креплением для отбора проб или вакуумным патроном.

Технические характеристики

• Полностью автоматизированная мультисенсорная технология и гибридная метрологическая установка для MEMS и Foundries
• Настраиваемый для широкого спектра применений в литейном производстве пластин
• Стандартизированные аппаратные компоненты, интегрированные в индивидуальные метрологические решения заказчика
• Работа с различными типами подложек
• Мощное собственное программное обеспечение для полностью автоматизированной 2D- и 3D-метрологии поверхности