MicroProf® FE

FRT MicroProf® FE - это стандартный, полностью автоматизированный инструмент Camtek для 2D / 3D метрологии пластин. Он сочетает в себе возможности установленного MicroProf 300 с системой обработки пластин в интерфейсном модуле оборудования (EFEM). Благодаря полностью совместимым решениям в области метрологии и практически необслуживаемым аппаратным компонентам, обеспечивающим высокую производительность контроля, MicroProf FE является метрологическим решением на любом производственном предприятии HVM.

Помимо стандартной конфигурации, FRT MicroProf FE может быть оснащен множеством дополнительных функций, которые также могут быть модернизированы позже.

Технические характеристики

• Полностью автоматизированная 2D- и 3D-метрология поверхности для интерфейсных приложений
• Мультисенсорная технология для гибридной метрологии
• Специальное встроенное решение для любого крупносерийного производства
• Однорычажный роботизированный агрегат для обработки пластин диаметром 300 мм (полустандартный)
• Работа с вакуумным концевым устройством
• 2 загрузочных отверстия для 300-миллиметровых пластин
• Дополнительное устройство предварительного выравнивания и / или RFID-считыватель