Технические характеристики
Продукты серии MOCVD online monitoring system используются для мониторинга температуры, коэффициента отражения и деформации пластин в процессе производства в режиме реального времени и обеспечивают надежные температурные сигналы для контроля температуры, подходящие для станков MOCVD с различными скоростями вращения. Включая онлайн-мониторинг степени искажения коэффициента отражения (viperRTC), измерение температуры поверхности (viper405), модуль калибровки температуры (Calibration Unit), систему сканирования температурного поля (Scanpyro) и другие продукты.
Продукты серии систем онлайн-мониторинга MOCVD.
- viperRTC – Отражательная способность пластины, температура, кривизна на месте мониторинга.
- viper405 - Измерение температуры поверхности пластины.
- Калибровочный блок - широкополосный или одноволновой инструмент калибровки температуры.
- Scanpyro - измерение профиля токоприемника/пластины.
Онлайн-мониторинг коэффициента отражения от температуры и деформации viperRTC.
Описание продукта.
|
Длина волны |
940 нм, 405 нм, 633 нм или по индивидуальному заказу. |
|
Источник света |
Температурно-стабилизированный светодиод. |
|
Диапазон температур |
от 500 до 1450°C или по индивидуальному заказу. |
|
Точность |
<±1°C (по калибровке черного тела) |
|
Повторяемость |
<1°С |
|
Кривизна |
-350 км-1 ~ +350 км-1 |
|
Функции программного обеспечения |
· расчет скорости роста - анализ состава · синхронизация runID · автоматическое создание отчетов · расчет скорости вращения спутника |
*Почти 100% доля рынка систем MOCVD китайского производства, установлено более 400 систем.
Измерение температуры поверхности viper405.
|
Диапазон температур |
650-1300°C |
|
Длина волны спектра |
405 нм |
|
Детектор |
Счетчик фотонов |
|
Разрешение |
0,1°C |
|
Настройка коэффициента излучения |
0,100-1,0 |
|
Повторяемость |
<1 °C |
|
Время интеграции |
> = 1 мс |
|
Интерфейс |
RS232C/Ethernet |
|
Источник питания |
12В/ 1А |
|
Сертификация |
TUV/CE |
|
Дополнительная интеграция коэффициента отражения и/или кривизны |
|
Калибровочный блок.
|
Длина волны спектра |
940 нм |
|
Частота сбора данных |
10,24 кГц |
|
Размер диафрагмы |
4 мм |
|
Диапазон температур |
500-1200°C |
|
Уровень шума |
<0,005°C |
|
Температурный дрейф |
<0,2°C |
|
Повторяемость |
<0,1°C |
Система сканирования температурного поля Scanpyro.
- Сканирование показывает температуру всего токоприемника и пластин.
- Регулируемые настройки цвета дисплея.
- Отображение радиального и кругового распределения.
- Щелкните любую точку, чтобы отобразить значение температуры.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система онлайн-мониторинга MOCVD. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support