Система онлайн-мониторинга MOCVD viperRTC-HS

Система онлайн-мониторинга Viper-RTC MOCVD используется для мониторинга в реальном времени отражательной способности (R), температуры (T) и коробления (C) процесса MOCVD. Сигнал температуры для регулирования температуры в замкнутом контуре.

Технические характеристики

• Широкий диапазон измерения температуры: 450 градусов-1450 градусов.
• Точность измерения, ±1 градус
• Хорошая адаптивность, подходит для различных скоростей, различного оборудования смотровых окон.
• Многоканальный, 4 канала измерения коэффициента отражения от температуры, 2 канала измерения кривизны.
• Высокая согласованность, разница в измерениях каждого канала измерения температуры составляет менее 0,5 градусов.
• 5-точечное измерение кривизны, 3D-изображение может отображать форму деформации пластины.
• Высокоточный калибровочный блок для обеспечения непрерывной калибровки.
• Повторяемость калибровочного устройства достигает 0,1 градуса.