Система онлайн-мониторинга MOCVD viperRTC-LSD

viperRTC – LSD (низкоскоростная двухточечная кривизна) система онлайн-мониторинга MOCVD, используемая для медленноскоростного однокристального планетарного оборудования MOCVD для обеспечения мониторинга в реальном времени отражательной способности процесса (R), температуры (T) и коробления. (С) монитор. Сигнал измерения температуры может использоваться для регулирования температуры в замкнутом контуре.

Технические характеристики

• Подходит для монолитных планетарных поворотных столов, таких как Aixtron Gx
• Длина волны измерения температуры: 940 нм
• Измерьте длину волны коэффициента отражения: 940 нм, 633 нм или по индивидуальному заказу.
• Датчик измерения кривизны: CCD
• Диапазон измерения температуры: 450 градусов-1450 градусов.
• Точность измерения: ±1 градус, точность повторяемости <0,5 градуса.
• Один канал измерения коэффициента отражения от температуры и один канал измерения кривизны (можно настроить многоканальный).
• 2-точечный датчик RTC, одновременно измеряющий температуру, коэффициент отражения и кривизну.