Система онлайн-мониторинга MOCVD viperRTC–LSS

viperRTC–LSS (низкоскоростная одноточечная кривизна) система онлайн-мониторинга MOCVD, используемая для медленноскоростного многочипового планетарного оборудования MOCVD для обеспечения мониторинга в реальном времени отражательной способности процесса (R), температуры (T) и коробления (С). Сигнал измерения температуры может использоваться для регулирования температуры в замкнутом контуре.

Технические характеристики

• Применимо к многокристальной планетарной системе MOCVD Aixtron Gx на небольшую пластину.
• Длина измерения температуры: 940 нм. Длина волны измерения отражательной способности: 940 нм, 633 нм или по индивидуальному заказу.
• Измерение длины волны кривизны: лазер 405 нм.
• Датчик измерения кривизны: PSD.
• Широкий диапазон измерения температуры: 450 ~ 1450 градусов.
• Точность измерения: ±1 градус, точность повторяемости <0,5 градуса.
• Один канал измерения коэффициента отражения от температуры и один канал измерения кривизны (можно настроить многоканальный).
• Одноточечный датчик RTC для одновременного измерения температуры, коэффициента отражения и кривизны.
• Уникальный алгоритм позволяет осуществлять измерение кривизны планетарной пластины, состоящей из нескольких частей.