Технические характеристики
Серия WT - это мощные автономные инструменты, специально разработанные для крупногабаритных установок диаметром 300 мм с полной автоматизацией производства и включенным OHT.
Особенности и системные спецификации:
- Обработка пластин: Робот длиной до 300 мм
- Класс чистых помещений: мини-среда класса 1
- Методы лечения:
- Горячий патрон / десорбер
- Линейное коронное зарядное устройство и контактное зарядное устройство
- Оптическая вспышка
- Высокотемпературный RTP
|
Спецификация |
ВЕС-2200 г. |
ВЕС-2500 г. |
ВЕС-3000 |
|
Размер вафли |
до 200 мм |
150/200 мм или 200/300 мм |
200/300 мм |
|
Параметры загрузки |
до 4 штук открытых кассет диаметром 200 мм |
|
Двойная платформа FOUP |
|
Программное обеспечение для автоматизации |
Опция связи SECS / GEM |
Опция связи SECS / GEM |
Полностью автоматизированное программное обеспечение |
|
Автоматизация производства |
Недоступно, предназначено для фабрик среднего класса |
Недоступно, предназначено для фабрик среднего класса |
Да, специально разработан для крупногабаритных объектов с полной автоматизацией производства, опция OHT |
Можно интегрировать все следующие методы измерений в один картографический прибор:
- Фотопроводящий распад, вызванный микроволновой печью
- (µ-PCD) и отображение времени жизни заряда-PCD / неосновных носителей
- Отображение поверхностного фотонапряжения (SPV) / длины диффузии
- Картирование концентрации железа (Fe)
Линейка продуктов WT разработана в соответствии со стандартами SEMI.
|
Модель |
Стоимость |
|
WT-2200, WT-2500, WT-3000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support