Прибор для обработки пластин WT-2000 /2A

Технические характеристики

Модель WT-2000 рекомендуется для фабрик и лабораторий среднего класса.

Особенности и системные спецификации:

• Размер пластины: до 300 мм с голой или покрытой диэлектриком поверхностью
• Обработка пластин: ручной или полуавтоматический индексатор
• Параметры загрузки:
• кассетный индексатор 100-200 мм
• индексатор кассет диаметром 300 мм с 13 слотами, включая открытые кассеты для пластин диаметром 100-300 мм
• Индексатор кассет диаметром 300 мм с 25 слотами, включая кассеты FOUP, FOSB и открытые кассеты для пластин диаметром 100-300 мм
• Источники света: полупроводниковые лазеры (головка SPV с 4 или дополнительными 8 лазерами)
• Полное отображение
• Точечные измерения в заранее определенных точках
• Удельное сопротивление образца: до 0,01 Омсм
• Дополнительный индикатор смещения:
  • ИК-светодиод высокой интенсивности
  • Галогенная лампа мощностью 30 Вт
• Автоматическая установка диссоциации железа и Бора - для концентрирования железа
• Специфическая производительность измерений в определенных программируемых местах

Каждая система может быть сконфигурирована в соответствии с требованиями пользователя путем добавления возможностей измерения и автоматизации, описанных ниже.

Измерительные возможности:

• µ-PCD для измерения срока службы носителя
• SPV для измерения длины диффузии
• VQ для контроля содержания оксидов
• JPV для измерения ионных имплантатов
• Вихретоковое измерение сопротивления листа