Прибор для обработки пластин WT-2000

Технические характеристики

WT-2000 - это настольный инструмент, рекомендованный для фабрик и лабораторий среднего класса.

Особенности и системные спецификации:

• Размер пластины: до 300 мм с голой или покрытой диэлектриком поверхностью
• Обработка пластин: ручной или полуавтоматический индексатор
• Параметры загрузки:
  • кассетный индексатор 100-200 мм
  • индексатор кассет диаметром 300 мм с 13 слотами, включая открытые кассеты для пластин диаметром 100-300 мм
  • Индексатор кассет диаметром 300 мм с 25 слотами, включая кассеты FOUP, FOSB и открытые кассеты для пластин диаметром 100-300 мм
• Цели обнаружения:
  • Примеси, вызванные загрязнением тяжелыми металлами и переходными металлами
  • Дефекты кристаллов
  • Дополнительное определение концентрации железа как в пластинах CZ, так и в пластинах FZ
• Отсутствие ограничений по толщине пластин
• Высокая скорость измерения
• Высокое боковое разрешение
• Требуемая пассивация поверхности: термическая оксидная, химическая пассивация или коронная зарядка

Каждая система может быть сконфигурирована в соответствии с требованиями пользователя путем добавления возможностей измерения и автоматизации, описанных ниже.

Измерительные возможности:

• µ-PCD для измерения срока службы носителя
• SPV для измерения длины диффузии
• JPV для измерения ионных имплантатов
• Вихретоковое измерение сопротивления листа