Прибор для определения толщины и удельного сопротивления WMT, WLT

Технические характеристики

Быстрое определение бесконтактной толщины, TTV и удельного сопротивления.

Толщина и удельное сопротивление являются основными параметрами контроля качества кремниевых пластин в фотоэлектрических системах.

Встроенные измерители толщины и удельного сопротивления моделей WLT, WLT-1, -3 и -5 позволяют измерять толщину в 1-5 точках и удельное сопротивление в 1 точке с высокой производительностью, которая соответствует требованиям поточного контроля качества на полностью автоматизированных линиях по производству пластин.

Модели WMT, WMT-1 и -3, измерители толщины и удельного сопротивления позволяют измерять пластины "на лету", т.е. конвейерная лента не останавливается во время измерения. Таким образом, они обладают высокой производительностью, которая соответствует требованиям поточного контроля качества на полностью автоматизированных линиях по производству вафель.

Особенности и системные спецификации:

• Измерения. методика: толщина емкости и удельное сопротивление вихревым токам
• Размер образца: от 125 до 156 мм (опция 210 мм)
• Расстояние между верхним и нижним датчиками: 2 мм (опция 4 мм для WLT)
• Опора для образца: на поясе
• Калибровка: по пластинам, проверенным механическим датчиком и четырехточечным зондом.

Опции:

• Измерительный модуль (вкл. 1-5 измерительных головок сопротивления листа)
• Промышленный ПК (операционная система Windows) и периферийные устройства
• Тестер типа P/N проводимости
• Датчик температуры
• Расчет основы и смычка
• Датчик присутствия пластин (только WMT)

Широкий выбор доступных интерфейсов для автоматизации и MES:

• Оптически изолированный ввод-вывод 24 В, интерфейс Ethernet
• Profibus
• OPC DA
• Протокол TCP / IP, содержимое может быть XML или ASCII
• База данных SQL
• SECS/GEM