Метрологическая система FAaST 350 C-V / I-V

Технические характеристики

Система FAaST 350 C-V/I-V использует передовые измерения C-V/I-V Semilab SDI, основанные на запатентованных методах короны Кельвина, для бесконтактного отображения диэлектриков и свойств интерфейса. Эта рабочая платформа спроектирована с учетом автоматизированной обработки пластин с помощью двух загрузочных станций FOUP Loadport, полностью способных поддерживать поточные измерения в самых сложных условиях крупносерийного производства.

Особенности и системные спецификации:

• Автоматическая роботизированная обработка пластин
• Двойной порт загрузки FOUP; дополнительная конфигурация с одним портом загрузки или с включением Versaport
• Полный контроль невизуальных дефектов пластин (NVD) и мониторинг повреждений плазмой с использованием режима БЫСТРОГО отображения поверхностного напряжения
• Автоматическое программируемое отображение участков или контуров диэлектрических свойств, включая:
  • Диэлектрическая емкость (CD) и толщина (EOT)
  • Ток утечки диэлектрика (I-V)
  • Напряжение плоской полосы (Вfb)
  • Плотность межфазной ловушки (Dit)
  • Захваченный заряд интерфейса (Qit)
  • Поверхностный барьер полупроводника (Vsb)
  • Общий заряд оксида (Qtot)
  • Подвижный ионный заряд (Qm), среди прочих
• Программный пакет FAaST, включающий приложения для измерения, составления рецептов и просмотра данных
• Подходит для измерений на: полупроводниках (например, Si, SiGe, InGaAs, SiC, GaN) с диэлектрическими пленками с высоким и низким содержанием k (например, SiO2, SiNx, Al2O3, HfO2; смешанные диэлектрики и пакеты диэлектрических пленок).
• Конфигурация по умолчанию для 300-миллиметровых пластин; с возможностью настройки моста 200 мм/300 мм
• Линейный кондиционер с гибкой совместимостью
• Совместимость для настройки с другими технологиями инструментальных измерений Semilab SDI FAaST
• Дополнительные доступные опции включают: Мини-среду, 300-миллиметровую автоматику, совместимую с Semi, сейсмические кронштейны, распознавание текста на пластинах, RFID, кассетный считыватель штрих-кодов, диапазон измерений 1000 В