Метрологическая система FAaST 330/230 DSPV

Технические характеристики

Системы FAaST 330/230 DSPV разработаны для обеспечения лучшего в мире бесконтактного оперативного мониторинга загрязнения тяжелыми металлами в режиме реального времени, включая обнаружение менее 108 атомов/ см-3 Fe, с автоматизированной обработкой пластин, подходящей для средне- и крупносерийного производства.

Особенности и системные спецификации:

• Автоматическая роботизированная обработка пластин
• Станция загрузки пластин с одной открытой кассетой с настраиваемыми опциями, включая SMIF / FOUP Loadport / Versaport
• Автоматическое быстрое картирование диффузионной длины пластины, железа и других Центров рекомбинации (Nr)
• Опция для расширенных цифровых функций SPV, включая рекомбинацию на обратной поверхности (Sb), длину стационарной диффузии (L0) и измерения меди.
• Программный пакет FAaST, включающий приложения для измерения, составления рецептов и просмотра данных
• Настраивается для изготовления пластин диаметром от 100 мм до 300 мм, доступны опции для различных размеров пластин
• Линейный кондиционер с гибкой совместимостью
• Совместимость для настройки с другими технологиями инструментальных измерений Semilab SDI FAaST
• Дополнительные доступные опции включают в себя: Мини-среду, захват за кромку пластины, устройство для автоматического измерения обратной поверхности пластины, автоматику, совместимую с 300 мм, сейсмические кронштейны, распознавание текста на пластине, RFID, кассетный считыватель штрих-кодов