Метрологическая система FAaST 330/230 C-V / I-V

Технические характеристики

Системы FAaST 330/230 C-V / I-V используют передовые измерения C-V / I-V Semilab SDI на основе запатентованных методов короны Кельвина для обеспечения бесконтактного отображения свойств диэлектрика и интерфейса на пластинах монитора. Эти платформы включают автоматизированную обработку пластин, подходящую для средне- и крупносерийного производства. Эти модели оснащены:

• Автоматическая роботизированная обработка пластин
• Станция загрузки пластин с одной открытой кассетой; с настраиваемыми опциями, включая SMIF / FOUP Loadport / Versaport
• Полный контроль NVD пластин и мониторинг повреждений плазмой с использованием режима БЫСТРОГО отображения поверхностного напряжения
• Автоматическое программируемое отображение участков или контуров диэлектрических свойств, включая:
  • Диэлектрическая емкость (CD) и толщина (EOT)
  • Ток утечки диэлектрика (I-V)
  • Напряжение плоской полосы (Вfb)
  • Плотность межфазной ловушки (Dit)
  • Захваченный заряд интерфейса (Qit)
  • Поверхностный барьер полупроводника (Vsb)
  • Общий заряд оксида (Qtot)
  • Подвижный ионный заряд (Qm), среди прочих
• Программный пакет FAaST, включающий приложения для измерения, составления рецептов и просмотра данных
• Подходит для измерений на: полупроводниках (например, Si, SiGe, InGaAs, SiC, GaN) с диэлектрическими пленками с высоким и низким содержанием k (например, SiO2, SiNx, Al2O3, HfO2; смешанные диэлектрики и пакеты диэлектрических пленок).
• Настраивается для пластин диаметром от 100 мм до 300 мм, доступны опции для установки пластин нескольких размеров и для ручной загрузки пластин меньшего диаметра.
• Линейный кондиционер с гибкой совместимостью
• Совместимость для настройки с другими технологиями инструментальных измерений Semilab SDI FAaST
• Дополнительные доступные опции включают: Мини-среду, 300-миллиметровую автоматику, совместимую с Semi, сейсмические кронштейны, распознавание текста на пластинах, RFID, кассетный считыватель штрих-кодов, диапазон измерений 1000 В