Метрологическая система FAaST 310/210 SPV

Технические характеристики

Системы FAaST 310/210 SPV обеспечивают быструю и полную визуализацию загрязнений пластин в конструкции, подходящей для исследований и разработок и малообъемных производств.

Особенности и системные спецификации:

• Ручная загрузка пластин, включая станцию установки кассеты и вакуумную палочку
• Автоматическое быстрое картирование диффузионной длины пластины, железа и других Центров рекомбинации (Nr)
• Программный пакет FAaST, включающий приложения для измерения, составления рецептов и просмотра данных
• Настраивается для изготовления пластин диаметром от 50 мм до 300 мм, доступны опции для различных размеров пластин
• Понижающий силовой трансформатор с гибкой совместимостью
• Дополнительные доступные опции включают: Автоматическую загрузку и / или экспорт данных, сейсмические скобки