Метрологическая система FAaST 350 DSPV

Технические характеристики

Система FAaST 350 DSPV - это флагманская платформа, разработанная для обеспечения лучшего в мире бесконтактного быстрого мониторинга загрязнения тяжелыми металлами, включая обнаружение менее 108 атомов / см-3 Fe, с автоматизированной обработкой пластин с помощью станций загрузки dual FOUP loadport, полностью способных поддерживать самые требовательные условия крупносерийного производства.

Особенности и системные спецификации:

• Автоматическая роботизированная обработка пластин
• Двойной порт загрузки FOUP; дополнительная конфигурация с одним портом загрузки или включающая Versaport
• Автоматическое быстрое картирование диффузионной длины пластины, железа и других Центров рекомбинации (Nr)
• Опция для расширенных цифровых функций SPV, включая рекомбинацию на обратной поверхности (Sb), длину стационарной диффузии (L0) и измерения меди.
• Программный пакет FAaST, включающий приложения для измерения, составления рецептов и просмотра данных
• Конфигурация по умолчанию для пластин диаметром 300 мм с возможностью настройки моста диаметром 200 мм / 300 мм
• Линейный кондиционер с гибкой совместимостью
• Совместимость для настройки с другими технологиями инструментальных измерений Semilab SDI FAaST
• Дополнительные доступные опции включают в себя: Мини-среду, захват за кромку пластины, устройство для автоматического измерения обратной поверхности пластины, автоматику, совместимую с 300 мм, сейсмические кронштейны, распознавание текста на пластине, RFID, кассетный считыватель штрих-кодов