Технические характеристики
- Применение технологии совмещения траекторий грубой и чистовой шлифовки значительно повысило стабильность качества обработки ультратонких кремниевых пластин, что позволило достичь точного уменьшения толщины 12-дюймовых пластин до менее 100 мкм;
- Двухшпиндельный трехпозиционный автоматический станок для утончения пластин может работать в связке с одншпиндельным полировальным станком и установкой для обработки защитной пленки, образуя единую систему, которая объединяет процессы утончения пластин и снятия механических напряжений. Оборудование оснащено собственными высокоточными 12-дюймовыми пневматическими шпинделями и воздушными опорами с улучшенной конструкцией, а также поддерживает стандарт SECS/GEM для интеграции в производственную сеть.
Технические параметры
|
Способ шлифовки |
Продольное врезное шлифование с вращением пластины |
||
|
Конструкция |
2 шпинделя, 3 держателя пластин, 1 поворотный стол |
||
|
Размер обработки |
мм |
Макс. ø300 (Φ8"-Φ12") |
|
|
Диаметр шлифкруга |
мм |
Φ300 |
|
|
Шпиндель |
Количество |
2 |
|
|
Мощность |
кВт |
7.5 |
|
|
Скорость |
об/мин |
1000-4000 |
|
|
Ход по Z |
мм |
120 |
|
|
Разрешение Z |
мкм |
0.1 |
|
|
Держатель пластин |
Способ фиксации |
— |
Вакуумное прижимание |
|
Тип |
— |
Многопористая керамика (совместимость с 8/12 дюймами) |
|
|
Скорость |
об/мин |
0-300 |
|
|
Количество |
шт. |
3 |
|
|
Точность утончения |
Отклонение толщины внутри пластины |
мкм |
≤ 3 |
|
Отклонение толщины между пластинами |
мкм |
≤ ±3 |
|
|
Шероховатость поверхности Ra |
мкм |
≤ 0.02 (Круг #2000, Si) |
|
|
Оборудование |
Габариты |
мм |
1445×3330×1895 |
|
Вес |
кг |
~4700 |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Автоматическая прореживающая машина WG-1251 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support