Технические характеристики
- Станок предназначен для обработки кристаллических слитков карбида кремния (максимальная толщина 3000 мм), каркасных кристаллических слитков карбида кремния сложной формы (максимальная толщина 50000 мкм), каркасных пластин сложной формы и нестандартных пластин SiC размером 4/6/8 дюймов. Используется шлифовальный круг диаметром Φ300 мм с максимальной скоростью уменьшения толщины 0,9 мкм/с, время шлифовки одной пластины составляет менее 5 минут;
- Двухшпиндельный трехпозиционный автоматический станок для уменьшения толщины пластин предлагает возможность выбора между встроенной системой измерения (диапазон 0-1800 мкм) и автономной системой измерения (диапазон 0-50000 мкм). Загрузка и выгрузка пластин, а также ручная очистка держателя пластин с помощью масляного камня выполняются вручную.
Технические параметры
|
Способ шлифовки |
In-feed grinding с вращением пластины (продольное врезное шлифование) |
||
|
Конструкция |
2 шпинделя, 3 держателя пластин, 1 поворотный стол |
||
|
Размер обработки |
Макс. диаметр |
мм |
Max.Ø200 (Φ4"-Φ8") |
|
Диаметр шлифовального круга |
Диаметр круга |
мм |
Φ300 |
|
Шпиндель |
Тип шпинделя |
— |
Высокочастотный встроенный пневматический шпиндель |
|
Количество шпинделей |
шт. |
2 |
|
|
Номинальная мощность |
кВт |
7.5 |
|
|
Скорость шпинделя |
об/мин |
1000–4000 |
|
|
Разрешение по оси Z |
мкм |
0.1 |
|
|
Держатель пластины |
Способ фиксации |
— |
Вакуумное прижимание |
|
Тип держателя |
— |
Пористый керамический |
|
|
Скорость вращения |
об/мин |
0–300 |
|
|
Количество держателей |
комплект |
3 |
|
|
Способ очистки |
— |
Ручная очистка масляным камнем |
|
|
Точность уменьшения толщины |
Отклонение внутри пластины |
мкм |
≤ 2 |
|
Отклонение между пластинами |
мкм |
≤ ±2 |
|
|
Шероховатость поверхности Ra |
нм |
≤ 3 (круг #30000, SiC) |
|
|
Оборудование |
Габариты |
мм |
1446×1860×1875 |
|
Вес |
кг |
3800 |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Автоматическая прореживающая машина WG-1250 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support