Технические характеристики
- Диаметр шлифовального круга составляет 300 мм, максимальная скорость утончения составляет 0,9 мкм / с, а время обработки менее 5 минут на пластину благодаря мощному шпинделю, гарантируя высокоточную обработку с зеркальной поверхностью без повреждений;
- Двухшпиндельный трехпозиционный автоматический станок для уменьшения толщины с встроенным измерительным модулем (диапазон 0-1800 мкм) обеспечивает прецизионный контроль толщины обработки, оснащен интерфейсом SECS/GEM для интеграции в производственную линию, а также опциональной системой SMIF для поддержания высокой чистоты в процессе обработки.
Технические параметры
|
Способ шлифовки |
Вертикальное врезное шлифование с вращением пластины |
||
|
Конструкция |
2 шпинделя, 3 держателя пластин, 1 поворотный стол |
||
|
Макс. размер обработки |
— |
мм |
Ø200 (6"-8") |
|
Диаметр шлифовального круга |
— |
мм |
Φ300 |
|
Шпиндель
|
Количество |
шт. |
2 |
|
Мощность |
кВт |
7.5 |
|
|
Скорость вращения |
об/мин |
1000-4000 |
|
|
Ход по оси Z |
мм |
120 |
|
|
Разрешение по оси Z |
мкм |
0.1 |
|
|
Держатель пластины |
Способ фиксации |
— |
Вакуумный |
|
Тип |
— |
Керамический пористый (совместим с 6/8") |
|
|
Скорость вращения |
об/мин |
0-300 |
|
|
Количество |
шт. |
3 |
|
|
Точность обработки |
Отклонение толщины внутри пластины |
мкм |
≤ 2 |
|
Отклонение толщины между пластинами |
мкм |
≤ ±2 |
|
|
Шероховатость поверхности (Ra) |
нм |
≤3 (круг №30000, SiC) |
|
|
Оборудование |
Габариты оборудования |
мм |
1445×3330×1895 |
|
Вес |
кг |
~4700 |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Автоматическая прореживающая машина WG-1261 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support