JETVenus DE-Машина для травления материалов

Технические характеристики

JETVenus - это устройство для плазменного травления, независимо разработанное компанией Jiyi Technology. В основном он используется для разнообразного травления пластин на основе кремния и различных компаундов размером менее 8 дюймов (включительно).

Область применения:

Полупроводник на основе кремния

Научно - исследовательские институты

Эксплуатационные характеристики:

Реактивное ионное травление с усилением магнитного поля, широкое технологическое окно

Биполярный керамический электростатический патрон, оснащенный двухзонной системой обратного гелиевого охлаждения, обеспечивает высокую равномерность травления

Футеровка камеры с регулируемой температурой, оснащенная функцией самоочистки, более длительный цикл технического обслуживания

Локализованное обслуживание клиентов, постоянная поддержка разработки процессов

Простота обслуживания, высокая производственная мощность, низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание

Размер пластины: 6/8 дюйма

Применимый материал: SiO2, Si3N4, SiOxNy

Применимый процесс: Травление HMO, дистанционное травление, плоское травление, контактное травление, сквозное травление, SAB-травление, Пассивирующее травление и т.д.