JETVenus SE-Машина Для Травления Поликремния

Технические характеристики

JETVenus - это устройство для плазменного травления, независимо разработанное компанией Jiyi Technology. В основном он используется для разнообразного травления пластин на основе кремния и различных компаундов размером менее 8 дюймов (включительно).

Область применения:

Полупроводник на основе кремния

Научно - исследовательские институты

Эксплуатационные характеристики:

Индуктивно связанная плазма высокой плотности с низким повреждением при травлении

Равномерная и контролируемая концентрация ионов

Контролируемое смещение постоянного тока, контролируемое направление ионов и энергия ионов

Превосходная однородность и стабильность травления, точные возможности контроля размера ключа и морфологии

Простота обслуживания, высокая производственная мощность, низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание

Размер пластины: 6/8 дюйма

Применимый материал: Поликремний/кремний/SiC

Применимый процесс: Поликремниевый силикат, травление Si (нулевая отметка, траншея), изоляция неглубоких траншей (STI), задняя часть / углубление поли-травлением и т.д.