Станок для травления глубоких канавок NMC 508Gt

NMC 508Gt — это машина плазменного травления высокой плотности, подходящая для процесса сухого травления глубоких канавок кремния диаметром 6/8 дюйма. Он способен закруглять верхнюю часть канавки и обладает такими преимуществами, как превосходный контроль морфологии, высокая скорость травления, высокая однородность травления и низкий уровень частиц/дефектов. Эта машина представляет собой многокамерное кластерное оборудование с полностью автоматической параллельной обработкой, простотой обслуживания, стабильной производительностью, высокой производительностью и низкой стоимостью владения. Она подходит для процессов травления глубоких канавок в интегральных схемах и силовых полупроводниках.

Технические характеристики

• Оптимизированная система впуска и система ESC для повышения равномерности.
• Стабильное массовое производство, высокая наработка на отказ.
• Плавный контроль морфологии боковых стенок.
• Гибкая регулировка угла наклона боковой стенки позволяет легко заполнить задний канал.
• Низкая стоимость владения и низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: совместимость с 6/8 дюймами.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: глубокое травление кремнием.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник.