Станок для травления металла NMC 508M

NMC 508M — это машина плазменного травления высокой плотности, подходящая для процесса сухого травления металла диаметром 6/8 дюйма. Он обладает такими эксплуатационными преимуществами, как хорошая способность контроля морфологии алюминиевой проволоки, высокая скорость травления, высокая однородность травления, низкий уровень частиц/дефектов и другие преимущества в производительности. Эта машина представляет собой многокамерное кластерное оборудование, включающее комбинацию металлической камеры и камеры рафинирования, которое обеспечивает полностью автоматическую параллельную обработку, длительный цикл обслуживания PM, стабильную производительность, высокую производственную мощность и низкую стоимость владения для клиента. Он широко используется в массовом производстве металлического алюминия, вольфрама и других процессах травления в интегральных схемах, сложных полупроводниках, силовых полупроводниках, микродисплеях на основе кремния, научных исследованиях и других областях.

Технические характеристики

• Регулируемая конструкция источника плазмы, точный контроль энергии ионов.
• Превосходная способность к травлению металла и широкий спектр технологических применений.
• Стабильное массовое производство, высокая наработка на отказ.
• Низкая стоимость владения и низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: совместимость с 6/8 дюймами.

Применимые материалы: алюминий, нитрид титана, молибден, вольфрам, оксид индия и олова и т.д.

Применимый процесс: травление металла верхнего слоя, травление металла среднего слоя и т.д.

Применимая область применения: интегральные схемы, составной полупроводник, силовой полупроводник, микродисплей на основе кремния.