Машина для травления поликремния NMC 508C/G

NMC 508C/G — это машина плазменного травления высокой плотности, подходящая для процессов сухого травления, таких как поликремний и кремний толщиной 6/8 дюйма. Он имеет такие преимущества в производительности, как хорошая возможность контроля морфологии, высокая скорость травления, высокая однородность травления и низкий уровень частиц/дефектов. Эта машина представляет собой многокамерное кластерное оборудование, способное к полностью автоматической параллельной обработке, простое обслуживание, стабильную производительность, высокую производственную мощность и низкую стоимость владения для клиента. Он широко производится серийно и используется в ключевых процессах разработки интегральных схем, сложных полупроводников, силовых полупроводников, научных исследований и других областях.

Технические характеристики

• Возможности точного контроля размера и морфологии ключа, а также различные технологии регулировки однородности процесса.
• Индивидуальная конфигурация программного обеспечения.
• Отличные показатели массового производства, отличная производительность технологического процесса и широкий спектр применений.
• Высокая производительность в час, низкие затраты на техническое обслуживание.
• Размер пластины: совместимость с 6/8 дюймами.
• Применимые материалы: кремний.
• Применимый процесс: травление поликремния, травление кремния, травление поликремниевых затворов, травление изоляции неглубоких канавок и т.д.
• Применимая область применения: интегральная схема, составной полупроводник, силовой полупроводник, область научных исследований