Машина для чистки одинарных пластин QX-2000

Технические характеристики

Полностью автоматическая машина для очистки пластин (QX-2000), в основном используемая для очистки частиц пыли с основной и задней поверхностей подложек SiC.

Машина для чистки одной пластины QX-2000 предназначена для сложных полупроводниковых пластин, таких как пластины SiC, сапфир и т. д., которые в основном используются для очистки частиц на поверхностях подложек. Оборудование может быть оснащено специальной чистящей станцией в соответствии с потребностями клиента. Сначала используйте кисть из ПВА в сочетании с двумя жидкостями и химическим раствором (в соответствии с потребностями клиента), а после высыхания частицы и другие остатки на поверхности пластины можно будет эффективно удалить. Машина подходит для чистки поверхностей толщиной 6-8 дюймов.

Преимущества продукта

Гибкий

Может обрабатывать пластины из различных материалов размером 4-6-8 дюймов, может предоставлять услуги по индивидуальному размеру в соответствии с потребностями клиента.

Количество щеток может быть настроено в соответствии с требованиями заказчика, доступно максимум 12 полостей.

Толщина пластины: 320-1000 мкм

Удобная настройка программного обеспечения

Клиенты могут установить формулу в системе в соответствии со своими требованиями процесса, а система может настроить управление паролями.

Высокая доходность

Вращая роботизированную руку в одной полости, передняя и задняя стороны пластины очищаются с высокой эффективностью.

Один кусок пластины можно очистить щеткой в ​​течение 5 минут (6-дюймовая пластина SiC), что обеспечивает высокую производственную мощность.

Технические параметры

Видео: https://video.jin-you.com/jsjg2.mp4