Машина для травления пассивирующего слоя упаковки PSE V300Di

PSE V300Di - это машина для плазменного травления высокой плотности, подходящая для 12-дюймовой неорганической композитной пленки, травления органических веществ и других процессов. Он обладает такими эксплуатационными преимуществами, как высокая скорость травления, высокая однородность травления и низкое содержание частиц. Оборудование представляет собой многокамерное кластерное оборудование, которое может быть полностью автоматизировано и выполнять параллельные процессы, отличается простотой обслуживания, стабильной производительностью и низкой стоимостью владения заказчиком. Он широко используется в ключевых производственных процессах, таких как научные исследования, усовершенствованная упаковка и светодиодные дисплеи.

Технические характеристики

• В области современной упаковки используются различные материалы для травления пассивирующего слоя.
• Более высокий коэффициент выбора травления, более широкое технологическое окно.
• Низкая стоимость владения и низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: органические вещества, такие как оксид кремния, нитрид кремния, PI, стекло и т.д.

Применимый процесс: травление масок, прокладок, травление органических веществ, дамасское травление и т.д.

Применимая область применения: усовершенствованная упаковка.