Оборудование для литографии с УФ-наноимпринтом

Оборудование поддерживает автоматическое копирование рабочих форм из гибкого композита с поверхности мастер-форм уровня пластины. Рабочие формы обладают характеристиками высокой точности и длительного срока службы, что позволяет значительно снизить затраты на использование форм в процессе нанотиснения на большой площади.

Технические характеристики

• Серийное и проверенное оборудование для оптического производства с уровнем 200 мм пластин (WLO);
• Технология параллельного управления подложкой APC active mold для обеспечения равномерности тиснения TTV на пластинах большой площади;
• Гибкая композитная рабочая форма автоматически копируется в оборудовании для снижения затрат на использование форм для нано-тиснения большой площади;
• Встроенная функция автоматического дозирования;
• Автоматическое выравнивание, автоматическое тиснение, автоматическое отверждение под воздействием, автоматическое высвобождение формы - в процессе не требуется ручного вмешательства;
• Стандартный светодиодный источник поверхностного ультрафиолетового излучения высокой мощности (365 нм, интенсивность света 1000 МВт/см²), с водяным охлаждением и в холодном состоянии, особой мощности и специальные источники света со смешанной длиной волны могут быть настроены индивидуально;
• Стандартное оборудование, внутренняя чистая среда и антистатическое устройство.

Технические параметры