Оборудование для литографии УФ-наноимпринтов


Производитель: Китай (295)

0 USD

Устройство поддерживает автоматическую загрузку и выгрузку из кассеты в кассету, автоматическое копирование гибких композитных рабочих форм и автоматическую замену рабочих форм. Весь процесс выполняется в закрытом и чистом помещении для обеспечения качества результатов тиснения.

Технические характеристики

  • Полностью автоматическая производственная линия оптической обработки пластин диаметром 200/300 мм;
  • Технология параллельного управления подложкой APC active mold для обеспечения равномерности тиснения TTV на пластинах большой площади;
  • Кассета к кассете, автоматическая загрузка и разгрузка, оптический контроль краев, предварительное выравнивание;
  • Гибкая композитная рабочая форма автоматически копируется в оборудовании, и рабочая форма автоматически заменяется, что подходит для непрерывного производства;
  • Встроенная высокоточная функция автоматического дозирования;
  • Автоматическое выравнивание, автоматическое тиснение, автоматическое отверждение под воздействием, автоматическое высвобождение формы - процесс автоматически выполняется в закрытом и чистом помещении для обеспечения качества тиснения;
  • Стандартный мощный ультрафиолетовый светодиодный поверхностный источник света (365 нм, интенсивность света 1000 МВт/см2), с водяным охлаждением и холодные источники света особой мощности и со смешанной длиной волны могут быть настроены индивидуально.

Технические параметры

Размер подложки

200 мм

Материал

Кремниевые пластины, стекло, кварц, пластмассы, металл

Способ погрузки и разгрузки

Полностью автоматическая загрузка и выгрузка из кассеты в кассету

Предварительное выравнивание пластин

Предварительное выравнивание оптических краев

Технология наноимпринта

Ультрафиолетовый наноимпринт

Точность тиснения

10 нм

Соотношение сторон структуры

10:1

Управление

200/300 мм

Отверждаемый УФ-излучением источник света

2000 МВт/см2

Автоматическое тиснение

 

 

Поддерживается

Автоматическое высвобождение

Автоматическое копирование рабочей формы

Автоматическая замена рабочей формы

Выравнивания основания пресс-формы

Автоматическое выравнивание

 

Модель

Стоимость, доллары США

GL300 MLA

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support