Устройство поддерживает автоматическую загрузку и выгрузку из кассеты в кассету, автоматическое копирование гибких композитных рабочих форм и автоматическую замену рабочих форм. Весь процесс выполняется в закрытом и чистом помещении для обеспечения качества результатов тиснения.
Технические характеристики
- Полностью автоматическая производственная линия оптической обработки пластин диаметром 200/300 мм;
- Технология параллельного управления подложкой APC active mold для обеспечения равномерности тиснения TTV на пластинах большой площади;
- Кассета к кассете, автоматическая загрузка и разгрузка, оптический контроль краев, предварительное выравнивание;
- Гибкая композитная рабочая форма автоматически копируется в оборудовании, и рабочая форма автоматически заменяется, что подходит для непрерывного производства;
- Встроенная высокоточная функция автоматического дозирования;
- Автоматическое выравнивание, автоматическое тиснение, автоматическое отверждение под воздействием, автоматическое высвобождение формы - процесс автоматически выполняется в закрытом и чистом помещении для обеспечения качества тиснения;
- Стандартный мощный ультрафиолетовый светодиодный поверхностный источник света (365 нм, интенсивность света 1000 МВт/см2), с водяным охлаждением и холодные источники света особой мощности и со смешанной длиной волны могут быть настроены индивидуально.
Технические параметры
|
Размер подложки |
200 мм |
|
Материал |
Кремниевые пластины, стекло, кварц, пластмассы, металл |
|
Способ погрузки и разгрузки |
Полностью автоматическая загрузка и выгрузка из кассеты в кассету |
|
Предварительное выравнивание пластин |
Предварительное выравнивание оптических краев |
|
Технология наноимпринта |
Ультрафиолетовый наноимпринт |
|
Точность тиснения |
10 нм |
|
Соотношение сторон структуры |
10:1 |
|
Управление |
200/300 мм |
|
Отверждаемый УФ-излучением источник света |
2000 МВт/см2 |
|
Автоматическое тиснение |
Поддерживается |
|
Автоматическое высвобождение |
|
|
Автоматическое копирование рабочей формы |
|
|
Автоматическая замена рабочей формы |
|
|
Выравнивания основания пресс-формы |
Автоматическое выравнивание |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
GL300 MLA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support