Оборудование для мокрого обезжелезивания Ultra C pq

Предназначено для эффективного и удобного удаления фоторезиста (PR) и очистки металла от зачистки.

Технические характеристики

• Простота в использовании;
• Точный контроль жидкости;
• Процесс предварительного замачивания агрегата резервуарного типа;
• Извлечение и использование жидкости может снизить затраты;
• Оптимизация конфигурации системы безопасности;
• В сочетании с передовой технологией очистки пластин;
• Функция многослойной фильтрации;
• Совместим с 8-дюймовыми и 12-дюймовыми пластинами;
• Оснащен резервуаром для замачивания;
• Оснащен цельной полостью для дегуммирования, включающей;
• Может быть оснащен до 5 видами жидких лекарственных средств для двусторонней очистки;
• Может быть переработано до 2 видов жидкости;
• Монолитный резонатор может быть оснащен компонентом пространственной акустической волны с переменным фазовым сдвигом мощностью мегаватт (SAPS);
• Дополнительная промывка растворителем под высоким давлением/распылением DIW.