P18 Пьезосканер (Усиленный привод)

Линейный пьезосканер P18 с 1 ~ 3 осями оснащен усиленным
механизмом и встроенными высоконадежными пьезо-
электрическими приводами, которые могут обеспечивать
высокоскоростное сканирование до 375 мкм. Отверстие
составляет Ø35 мм. На выбор доступны различные технические
характеристики. Он подходит для многомерного сканирования
больших расстояний.

Характеристики

• Макс. нагрузка до 3.5kg
• Доступная версия UHV
• Макс. ход до 375μm
• Диафрагма: Ø35mm
• Быстрое время отклик
• 1~3 оси движения

Применение

• Сканирующая микроскопия
• Оптическое измерение
• Осмотр поверхности
• Помехи/измерение
• Обработка и стабилизация изобр.
• Измерение полупроводников

1~3 оси

P18 включает в себя версии X/XY/XYZ, которые могут
удовлетворить требования условий сканирования или
позиционирования с большим ходом по 1~3 осям.



Большой шаг, Большая Степень нагрузки

P18 позволяет достигать смещения до 375 мкм.
Версия с закрытым контуром может быть выбрана для
достижения превосходной линейности и
воспроизводимости. Максимальная степень нагрузки
составляет до 3,5 кг. Резонансная частота без
нагрузки может достигать 600 Гц. В соответствии с
пьезоконтроллером время шага может составлять до 5
мс. Идеально подходит для таких работ, как
прецизионная механическая обработка, производство
полупроводников и сканирующая микроскопия.

Время шага



Точность (P18.XY300S)



Кривая зависимости частоты от нагрузки


Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P18. X200S P18. X200K	P18. X300S P18. X300K	P18. Z200S P18. Z200K	P18. XY200S P18. XY200K	P18. XY300S P18. XY300K	P18. XZ200S P18. XZ200K	P18. XYZ200S P18. XYZ200K	Ед. изм
Активные оси	X	X	Z	X, Y	X, Y	X, Z	X, Y, Z
Управляющие каналы	1	2	1	2	3	2	3
Диапазон движения (0~120V)	200	±150	160	200/ось	±150/ось	160/ось	160/ось	μm±10%
Диапазон движения (0~150V)	250	±187.5	200	250/ось	±187.5/ось	200/ось	200/ось	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Диафрагма	Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	mm
Замк./разомк. контур. Разрешение	7/2	10/3	7/2	7/2	10/3	7/2	7/2	nm
Закр. контур. Линейность	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.4/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.15/-	0.15/-	0.15/-	0.15/-	0.15/-	0.15/-	0.2/-	%F.S.
Наклон/Откл-е/Вращение	<10	<15	<20	<10	<15	<20	<25	μrad
Сила выталкивания/тяги	60/20	150/150	50/10	60/20	150/150	30/10	30/10	N
Жесткость	0.3	0.5	0.3	0.3	0.5	0.3	0.1	N/μm±20%
Резонансная частота без нагрузки	500	600	300	X200/Y450	X250/Y500	X200/Z300	X120/Y200 /Z300	Hz±20%
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	30/5	30/10	30/5	50/5	50/10	50/5	80/10	ms±20%
Закрытый контур. Рабочая частота (-3dB)	-	-	-	-	10 (@30g нагрузка)	-	-	Hz±20%
Степень нагрузки	2	3.5	1	1.5	3	1	0.8	kg
Эл. емкость	11	21.6	21.6	11/ось	21.6/ось	11/ось	11/ось	μF±20%
Материал	Алюминий
Масса	200	220	400	360	380	550	750	g±5%

Примечание: Максимальное управляющее напряжение может составлять -20V ~ 150V, рекомендуемое напряжение 0 ~
120V для длительной и высоконадежной работы. Технические данные измеряются пьезоконтроллером серии E00/E01.

Примеры применения - Нанолитография и сканирующее изображение

① P18.XY300 имеет большой диапазон
смещения, высокую точность и
стабильность. Применяется для
экспериментов по нанолитографии.

② P18.XY300 применяется для получения
изображений при двухмерном
сканировании.



Чертежи


Рекомендуемые контроллеры