P17 Пьезосканер XY, специально разработан для применения в
случаях, требующих большой диафрагмы и большого диапазона
смещения. Сканер оснащен механизмом усиления и
встроенными высоконадежными пьезоэлектрическими
приводами, которые обеспечивают диапазон сканирования 187,5
мкм. Широко используется в областях точного позиционирования
и навигации.
Характеристики
P17 перемещается по осям XY со смещением 187,5 мкм/ось.
Применение
Пьезостанок P63 представляет собой сверхточную систему
нанопозиционирования, предназначенную для АСМ, СЗМ,
СТМ и других приложений микросканирования и
наноопераций. Он обладает сверхнизкой инерцией,
временем отклика до 0,3 мс, встроенным датчиком для
высокоточного сканирования.
Кривая зависимости частоты от нагрузки
Время шага
Кривая откр./закр. контур
Пример использования
P17.XY200 успешно используется при тестировании
полупроводников, анализе структуры поверхности,
микроскопических изображениях. P 17.X Y 200, использу-
ется совместно с пьезообъективным сканером для
позиционирования пластин, может выполнять точное
позиционирование на наноуровне.
Технические характеристики
Примечание: Максимальное напряжение может составлять -20V ~ 150V, рекомендуемое 0 ~ 120V для длительной и
высоконадежной работы. Технические данные измеряются пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
Рекомендуемые контроллеры
случаях, требующих большой диафрагмы и большого диапазона
смещения. Сканер оснащен механизмом усиления и
встроенными высоконадежными пьезоэлектрическими
приводами, которые обеспечивают диапазон сканирования 187,5
мкм. Широко используется в областях точного позиционирования
и навигации.
Характеристики
- Макс. ход до 187.5μm
- Высокая точность воспроизведения закрытого контура
- Степень нагрузки до 1 kg
- Быстрое время отклика
- Диафрагма: 6 0×60mm
- Доступная версия UHV
P17 перемещается по осям XY со смещением 187,5 мкм/ось.
Применение
- Обработка и стабилизация изображений
- Сканирующая микроскопия
- Позиционирование
- Помехи
- Осмотр поверхности
- Микроманипуляция
Пьезостанок P63 представляет собой сверхточную систему
нанопозиционирования, предназначенную для АСМ, СЗМ,
СТМ и других приложений микросканирования и
наноопераций. Он обладает сверхнизкой инерцией,
временем отклика до 0,3 мс, встроенным датчиком для
высокоточного сканирования.
Кривая зависимости частоты от нагрузки
Время шага
Кривая откр./закр. контур
Пример использования
P17.XY200 успешно используется при тестировании
полупроводников, анализе структуры поверхности,
микроскопических изображениях. P 17.X Y 200, использу-
ется совместно с пьезообъективным сканером для
позиционирования пластин, может выполнять точное
позиционирование на наноуровне.
Технические характеристики
| Тип S-Закр. контур K-Откр. контур |
P17.XY200S | P17.XY200K | Ед. изм |
|---|---|---|---|
| Активные оси | X, Y | X, Y | |
| Диапазон движения (0~120V) | 150/ось | 150/ось | μm±10% |
| Диапазон движения (0~150V) | 187.5/ось | 187.5/ось | μm±10% |
| Датчик | SGS | - | |
| Диафрагма | 60×60 | 60×60 | mm |
| Разрешение | 5 | 1.5 | nm |
| Закрытый контур. Линейность | 0.1 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость | 0.05 | - | %F.S. |
| Наклон/Отклонение/Вращение | <15 | <15 | μrad |
| Сила выталкивания/тяги | 40/15 | 40/15 | N |
| Жесткость | X0.2/Y0.2 | X0.2/Y0.2 | N/μm±20% |
| Резонансная частота без нагрузки | X240/Y400 | X240/Y400 | Hz±20% |
| Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага | 30 | 5 | ms±20% |
| Закр. контур. Рабочая частота (-3dB) | 25 (@28g нагрузка) | - | Hz±20% |
| Степень нагрузки | 1 | 1 | kg |
| Эл. емкость | 3.6/ось | 3.6/ось | μF±20% |
| Материал | Сталь, Алюминий | Сталь, Алюминий | |
| Масса | 660 | 660 | g±5% |
Примечание: Максимальное напряжение может составлять -20V ~ 150V, рекомендуемое 0 ~ 120V для длительной и
высоконадежной работы. Технические данные измеряются пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
Рекомендуемые контроллеры
JoomShopping Download & Support