Применение
Осаждение тонких пленок AlO+SiN.
Технические характеристики
- Слои AlO и SiN могут быть покрыты в одной и той же печной трубе, что помогает сократить этапы процесса, повысить выход продукции и эффективно снизить скорость поломки.
- Схема конфигурации «два в одном» с превосходной производительностью производства на одной машине.
Технические параметры
|
Размер пластины |
230 мм |
|
Конфигурация трубки |
5 трубок/6 трубок |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
PD-520/PD-520L/PD-520MAX |
По запросу |
JoomShopping Download & Support