Тонкое окислительное покрытие Topcon батареи, низкотемпературный химический осаждение пара (LPCVD) пленки SiN и SiON (PECVD)
Технические параметры
|
Модель |
SC5110-CVD |
|
Размер кремниевой пластины |
Макс. 210 мм |
|
Загрузка пластин |
Макс. 1300 штук |
|
Температура |
200 ~ 1100°C , +-0.5°C |
|
Плоская зона |
Макс. 2500 мм |
|
Опции |
Плоская машина, система загрузки и разгрузки LIFT |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SC5110-CVD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support