Трубчатое PECVD оборудование

Применение

Осаждение пленок SiN, SiON и других.

Технические характеристики

• Надежный контакт с электродами, эффективное снижение уровня пыли, а также частоты высокочастотных аварийных сигналов.
• Простой и надежный механизм автоматической посадки и высадки, увеличивающий пространство и удобство обслуживания оборудования.
• Одностороннее монтажное обслуживание компонентов оборудования позволяет сократить занимаемую площадь при бэкенд-расположении оборудования, не влияя на сложность его обслуживания.
• Высокоскоростная плавная целая модульная толкающая конструкция.
• Патентованная технология вспомогательного обогрева.
• Технология быстрого нанесения покрытия.
• Программное обеспечение MES с независимыми правами интеллектуальной собственности, централизованная система управления вычислительными мощностями.

Технические параметры