Технические характеристики
В основном используется в полупроводниковых интегральных схемах, силовой электронике (IGBT), микромашинах (MEMS), производстве фотоэлектрических элементов (фотоэлектрических) и других областях, подходит для диффузии, окисления и процесса размером от 6 до 12 дюймов.
Особенности продукта:
Диффузионно-окислительная печь является важным процессом в производстве полупроводников. Диффузия использует принцип термодиффузии для внедрения примесных элементов в кремниевую подложку на необходимую глубину в условиях высоких температур, чтобы они имели определенное распределение концентрации и изменяли электрические свойства. Цель создания полупроводниковых приборных структур. Его можно использовать для создания PN-переходов или формирования резисторов, конденсаторов, диодов, транзисторов и других устройств в интегральных схемах. Окисление — это процесс, при котором кремниевые пластины помещаются в атмосферу кислорода или водяного пара для высокотемпературной термообработки с образованием оксидной пленки на поверхности кремниевой пластины. Ее можно использовать в качестве барьерного слоя для ионной имплантации. Слой проникновения имплантата, пассивация поверхности и диэлектрический слой для конструкций устройства ждут.
Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.
Технические параметры
|
Особенности оборудования
|
Он может соответствовать процессам окисления сухого кислорода в закрытых трубах, окисления влажного кислорода и процессов окисления синтеза водорода-кислорода. |
|
Используйте высоконадежный промышленный компьютер + режим PLC для полностью автоматического контроля температуры печи, продвижения и отступления лодки, потока газа и клапанов для автоматизации всего процесса. |
|
|
Благодаря дружественному человеко-машинному интерфейсу пользователи могут легко изменять параметры управления процессом и отображать различные состояния процесса в любое время. |
|
|
Он имеет множество технологических конвейеров, которые пользователи могут удобно выбирать. |
|
|
Он имеет мощные программные функции и оснащен программным обеспечением для самодиагностики неисправностей, что позволяет значительно сэкономить время на техническое обслуживание. |
|
|
Зона постоянной температуры автоматически регулируется и каскадно управляется для точного контроля фактической температуры процесса в реакционной трубке. |
|
|
Он имеет функции перегрева, перегорания пары, короткого замыкания термопары, сигнализации отклонения потока технологического газа и функции защиты. |
|
|
Продукты могут быть настроены в соответствии с требованиями пользователя. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полностью автоматическая вертикальная окислительно-диффузионная печь. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support