Технические характеристики
Использование продукта: клей для пластин интегральной схемы, клей BPO/клей PI/клей BCB, IC (вафля, CMOS, Bumping, TSV, MEMS, идентификация отпечатков пальцев; быстрый отжиг пластины интегральной схемы.
Характеристики продукта:
- Интегрированная человеко-машинная операционная система, непрерывное автоматизированное производство, высокая эффективность работы, экономия затрат на рабочую силу, электроэнергию и время процесса.
- Нагрев FEC, быстрый рост температуры и хорошая однородность.
- Высококачественный материал из нержавеющей стали; подвергается физической и химической обработке. Полируется для обеспечения чистоты.
- Имеет функцию самоочистки – высокотемпературную очистку.
Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.
Технические параметры
|
Модель |
TASF3075D107-N0 |
TASF3075D207-N0 |
TASF3075D407-N0 |
|||||
|
Обращение с продуктами |
8/12-дюймовая пластина |
Пропускная способность |
100/75 шт. / трубка |
|||||
|
Обогреватель |
Круглая нагревательная пластина FEC |
|||||||
|
Порт подачи |
4 |
Манипулятор |
1 |
|||||
|
Температурный диапазон |
Температура длительного использования: 350℃, максимальная температура: 750℃. |
|||||||
|
Скорость нагрева |
＜8℃ /мин |
Скорость охлаждения |
＜7 ℃ /мин |
|||||
|
Мощность нагрева |
30 кВт (одна печь) *2 |
Температурная зона нагрева |
3 * 2 |
|||||
|
Равномерность температуры печи |
±2℃ (постоянная температура 350℃) |
Термопара контроля температуры |
К выпускной |
|||||
|
Метод контроля температуры |
SSR |
Программное управление |
P.I.D. -регулятор |
|||||
|
Материал печи |
Кварц |
Изоляционный материал |
Керамическое волокно |
|||||
|
Контроль атмосферы
|
Многоканальный расходомер регулирует приток воздуха: диапазон измерения расхода: 1) 0–1 5 0 л/мин азота 2) 0–40 л/ мин кислорода |
Атмосфера |
N2/O2 |
|||||
|
Выхлопная система |
Установите вытяжную трубу вверху для выброса и утилизации отходящих газов. |
|||||||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полностью автоматическая вертикальная печь (PI Cuer, сплав). |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support