Технические характеристики
Характеристики продукта: подходит для процессов сушки и пенообразования в области упаковки полупроводников; высокая точность контроля температуры, отличные возможности управления PA и высокая автоматизация оборудования.
Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.
Технические параметры
|
Характеристики продукта |
8 дюймов /12 дюймов |
Количество хранения |
25 |
||
|
Обогреватель |
Нагревательная трубка (циркуляция горячего воздуха). |
||||
|
Порт подачи |
4 |
Манипулятор |
1 |
||
|
Температурный диапазон |
Температура длительного использования: 180°C, максимальная температура: 200°C. |
||||
|
Скорость нагрева |
≥5°C/мин |
Скорость охлаждения |
Водяное охлаждение ≥2°C/мин |
||
|
Мощность нагрева |
18кВт (одна печь) |
Температурная зона нагрева |
2 |
||
|
Равномерность температуры печи |
≤±3°C (испытание без нагрузки) |
Термопара контроля температуры |
К выпускной |
||
|
Испытание при давлении 5 кг/см2 и температуре 120–175°C. |
|||||
|
Метод контроля температуры |
SSR (английский) |
Программное управление |
P.I.D - регулятор |
||
|
Материал полости печи |
Нержавеющая сталь SUS304 |
Изоляционный материал |
Керамическое волокно |
||
|
Контроль атмосферы |
Многоканальный расходомер регулирует приток воздуха |
Атмосфера |
N2/CDA |
||
|
Диапазон давления |
0 ~ 8 кг/см2 |
||||
|
Выхлопная система |
Установите вытяжную трубу вверху для выброса и утилизации отходящих газов. |
||||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полностью автоматическая вакуумная печь под давлением. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support