VERIC O6151A Высокотемпературная окислительная печь SiC

Печь для высокотемпературного окисления карбида кремния VERIC O6151A имеет неметаллическую, устойчивую к коррозии технологическую камеру и герметичную конструкцию системы нагрева, обеспечивающую безопасное использование токсичных и легковоспламеняющихся газов. Он в основном используется в процессах высокотемпературного окисления в области сложных полупроводников, материалов подложек и научных исследований. Он поддерживает непрерывные процессы высокотемпературного окисления при температуре 1500°C и продолжительностью ≥10 часов.

Технические характеристики

• Температура может достигать 1500℃, а однородность температурной зоны составляет ±1℃.
• Равномерная толщина пленки, хорошая консистенция между WIW, WTW и RTR.
• Термостойкий графитовый нагреватель, чистая технологическая камера.
• Автоматическая загрузка, от кассеты к кассете.
• Конструкция безопасности, соответствующая стандарту CE\SEMI S6.

Размер пластины: совместимость с 4/6 дюймами.

Применимые материалы: карбид кремния.

Применимый процесс: сухое кислородное окисление, влажный кислород, отжиг Ar/N₂, отжиг NO/N₂O, отжиг H₂, очистка DCE.

Применимая область применения: сложные полупроводники, материалы подложек, области научных исследований.