VERIC A6151A Высокотемпературная печь для отжига карбида кремния

Печь для высокотемпературного отжига карбида кремния VERIC A6151A оснащена безметалловой долговечной системой нагрева и специально разработанной высоконадежной технологической камерой. Она способна проводить процессы высокотемпературного отжига в газовых атмосферах, таких как аргон, азот и водород. с температурой до 2000°С. Он в основном используется для высокотемпературного активационного отжига после высокотемпературной ионной имплантации SiC, сглаживания канавок после травления и т.д. Его также можно использовать для активации легирования в пластинах GaN и процессов высокотемпературного отжига для кристаллов AlN.

Технические характеристики

• Температура может достигать 2000 ℃, а скорость нагрева высокая.
• Высокая скорость активации и низкая шероховатость поверхности.
• Водяное охлаждение и обогрев, небольшое повышение температуры окружающей среды.
• Термостойкий графитовый нагреватель, чистая технологическая камера.
• Автоматическая загрузка с кассеты на кассету.
• Конструкция безопасности, соответствующая стандартам CE, SEMI S6.

Размер пластины: совместимость с 4/6 дюймами.

Применимые материалы: карбид кремния, нитрид алюминия.

Применимый процесс: активация после инъекции, Ar-отжиг, Ar/h-отжиг, сглаживание канавок.

Применимая область применения: сложный полупроводник, материал подложки, научные исследования.