Yujia spinel 150A/200A

Технические характеристики

Yujia Spinel150A/200A — это устройство, независимо спроектированное и разработанное Shanghai Bangxin для озоления фоторезиста диаметром 6/8 дюйма: построенное на базе передающей платформы Yujia компании Bangxin, оно обеспечивает высокую скорость переноса пленки и реализует последовательную или параллельную обработку. Устройство генерации плазмы высокой плотности обеспечивает достаточное количество активных реактивных групп для обеспечения высокой скорости озоления; уникальная конструкция поля газового потока и теплового поля обеспечивает равномерность озоления; операционная система на основе базы данных обеспечивает быстрый и стабильный промышленный контроль и уникальную скорость отбора данных; механизм подъема пластины для адаптации к большему количеству применений.

Применение: составные полупроводниковые/кремниевые интегральные схемы.

• Массовое удаление фоторезиста.
• Удаление фоторезиста после имплантации ионов высокой энергии.
• Предварительная обработка.
• Удаление полимера.