THEORIS SN302D 12-дюймовая вертикальная печь для химического осаждения нитрида кремния низкого давления из паровой фазы

THEORIS SN302D в основном используется для процесса химического осаждения из паровой фазы под низким давлением пленок нитрида кремния на 12-дюймовых пластинах и может применяться для осаждения пленок нитрида кремния при высоких и низких температурах. Машина может выполнять полностью автоматический технологический процесс. Система в основном состоит из модуля передачи, модуля процесса, модуля управления и вспомогательного оборудования. Модернизированная система может реализовывать такие функции, как очистка на месте, эффективно контролировать частицы, сокращать время обслуживания и улучшать использование оборудования.

Технические характеристики

• Усовершенствованная система контроля давления.
• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Высокая производственная мощность.
• Передовая технология контроля содержания кислорода в микросреде.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: химическое осаждение нитрида кремния из газовой фазы под низким давлением.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник.