THEORIS X302H 12-дюймовая вертикальная высокотемпературная печь для окисления

THEORIS X302H в основном используется для 12-дюймовых высокотемпературных и сверхвысокотемпературных процессов окисления и отжига при температуре 1000–1200℃. Эта машина представляет собой вертикальную однокамерную трубчатую систему, а технологический процесс достиг высокой степени автоматизации. Система в основном состоит из модуля передачи, модуля процесса, силового шкафа и других частей.

Технические характеристики

• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Передовая технология борьбы с загрязнением металла.
• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Поддержка технологии быстрого повышения/ понижения температуры.
• Высокая производственная мощность.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: высокотемпературное сухое/влажное окисление кислородом, окисление DCE, окисление, легированное азотом, высокотемпературный отжиг.

Применимая область применения: современные интегральные схемы, силовые полупроводники, материалы подложек.