THEORIS PY302U 12-дюймовая вертикальная печь для химического осаждения из паровой фазы низкого давления для нелегированного поликремния

THEORIS PY302U используется при производстве высокопроизводительных полупроводниковых поликремниевых пленок. Он использует химическое осаждение из паровой фазы под низким давлением для нанесения поликремниевых пленок на поверхность пластины. Он занимает небольшую площадь и может обрабатывать 12-дюймовые пластины в больших количествах.

Технические характеристики

• Усовершенствованная система контроля давления.
• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Превосходная однородность пленки.
• Передовая технология контроля содержания кислорода в микросреде.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: химическое осаждение тонких пленок поликремния из газовой фазы под низким давлением.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, материал подложки.