THEORIS HO302D 12-дюймовая вертикальная высокотемпературная печь для химического осаждения оксида кремния при низком давлении

THEORIS HO302D использует вертикальное химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении для нанесения пленок оксида кремния на поверхность 12-дюймовых пластин. Он занимает небольшую площадь и может обрабатывать 12-дюймовые пластины в больших количествах.

Технические характеристики

• Усовершенствованная система контроля давления.
• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Превосходная однородность пленки.
• Передовая технология контроля содержания кислорода в микросреде.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: химическое осаждение кремнезема из газовой фазы под низким давлением.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, микродисплей на основе кремния.