THEORIS A302C 12-дюймовая вертикальная печь для отверждения полиимида

Вертикальная печь отжига THEORIS A302C пропускает N₂, H₂ или D₂ и другие газы в условиях средней и низкой температуры для устранения дефектов металлической и неметаллической решетки и повреждений решетки на границе раздела кремниевых пластин, оптимизации качества интерфейса кремниевой пластины и повышения производительности устройства. Оборудование для отжига обеспечивает такие решения, как высокоточные алгоритмы контроля температуры, строгие показатели контроля металла, стабильные системы управления передачей и безопасные специальные устройства газоочистки, с учетом реализации технологических целей и гарантии надежности производства.

Технические характеристики

• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Эффективная технология сбора побочных продуктов.
• Передовая технология контроля содержания кислорода.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: отверждение клея PI.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник.