THEORIS A302 12-дюймовая вертикальная низкотемпературная печь для отжига

Вертикальная печь отжига THEORIS A302 пропускает N₂, H₂ или D₂ и другие газы в условиях средней и низкой температуры для устранения дефектов металлической и неметаллической решетки и повреждений решетки на границе раздела кремниевых пластин, оптимизации качества интерфейса кремниевой пластины и повышения производительности устройства. Система имеет высокоточную систему контроля температуры, хорошие возможности контроля металла, высокостабильную систему передачи и безопасное специальное устройство очистки газа с учетом хороших технологических показателей, высокой производительности, безопасности и надежности.

Технические характеристики

• Усовершенствованная система контроля давления.
• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Надежная технология получения водорода.
• Большая производственная мощность.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: процесс с постоянной низкой температурой/низким давлением, отжиг сплавов, металлов/неметаллов, листовой отжиг.

Применимая область применения: интегральные схемы, усовершенствованная упаковка, силовой полупроводник, микродисплей на основе кремния.