Технические характеристики
Oxide MBE 350 в основном использует цилиндрический корпус из нержавеющей стали 316, обработанный аргонно-дуговой сваркой, с фланцем на верхней части корпуса размером DN300CF. В системе MBE350 можно установить до 9 источников испарения. Предусмотрены различные фланцы, совместимые с системой RHEED для мониторинга роста тонких плёнок в реальном времени. Система позволяет вводить окисляющие газы для эпитаксии металлических оксидных плёнок.
Особенности продукта:
- Дифференциальный дизайн источников испарения позволяет осаждать оксидные материалы при высоком парциальном давлении кислорода или озона;
- Заполнение и замена источников испарения возможно без нарушения вакуума в камере роста;
- Можно использовать высокочистую озоновую установку или радиочастотный плазменный источник в качестве источника кислорода.
Технические параметры
|
Oxide MBE 350 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
200 мм I.D |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-10 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 450 л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик ионов + датчик Пирани |
||
|
Холодный экран с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Ионный насос |
Опционально |
||
|
Держатель образца |
Размер выборки |
Держатель образца флажкового типа |
|
|
Способ нагрева подложки |
Лучистое отопление |
||
|
Температура нагревателя подложки |
Комнатная температура-1200К |
||
|
Детали |
Конфигурация источника испарения |
6xDN40CF, 2xDN63CF |
|
|
Перегородка с независимым источником испарения |
Пневматический привод |
||
|
QCM |
Стандартная конфигурация |
||
|
РИД |
15 кэВ-30 кэВ |
||
|
Источник ионов |
Опционально |
||
|
Модуль генерации озона |
Опционально |
||
|
Источник радиочастотной плазмы |
Опционально |
||
|
|
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Образец парковочной платформы |
6 или 12 станций |
|
|
Системная интеграция и контроль |
Программное обеспечение GUIDE |
Стандартная конфигурация |
|
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Вакуумная система освещения |
Опционально |
||
|
Плазменная очистка |
Тележка-насос |
||
|
ПЗС -камера |
Опционально |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система молекулярно-лучевой эпитаксии Oxide MBE 350 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support